電動超高真空插板閥CCD的主要技術(shù)參數(shù)
電動超高真空插板閥CCD是通過電動裝置驅(qū)動閥桿帶動閥板作上下運動，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。帶反饋信號裝置。
電動超高真空插板閥CCD主要技術(shù)參數(shù)：
適用范圍 | 105～1.3×10-7Pa |
閥門漏率 | ≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200) ≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250) |
適用溫度 | - 30～+150℃ |
閥門開啟時閥板兩側(cè)的壓差 | ≤2.7×103Pa |
電源 | 220V/50Hz |
主要零件材料：
閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁jing橡膠。
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